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PFA 阀门

PFA常温阀门

PFA适用于任何超纯或腐蚀性化学系统，在10℃至90℃之间可维持良好的尺寸稳定性和耐腐蚀性，并具有良好的机械特征、抗磨损特性。
PFA阀门应用于半导体，TFT-LCD，光伏等行业的化学品系统，满足超高纯、无泄漏、高标准的化学品输送要求。

产品特点：

• 过液部分采用高纯PFA、PTFE材质，耐腐蚀
• 极少的金属部件，表面防腐处理
• 膜片内嵌设计，使之受力匀称，延长寿命
• 独特的曲径设计可以保证阀门在高流速应用时的有效闭合
• 优化的流道结构保证阀门拥有较高的流通能力，和较低的流阻系数
• 指示机构加装保护罩，保证指示杆与外界环境有效隔绝
• 内壁粗糙度小，不易附着流体
• 增加了多重防松设计，提升螺纹连接的可靠性，防止连接螺母松动，保证阀门密封性更加可靠• 挡圈结构优化设计，使连接螺母预紧力
均匀的压紧膜片，保证膜片受力均匀，密封可靠
• 提高气缸内壁表面粗糙度，延长阀门的使用寿命
• 手阀传动机构的优化设计，保证手阀承载能力更强，传动更加平稳
• 执行机构与阀体连接升级为阀体套与底板夹持阀体结构形式，降低材料成本
• 底板安装角度的调整，提高了阀门安装的便利性和紧凑性

PFA管产品样册

PFA中温阀门

PFA中温阀门(10~120℃)专门为湿法蚀刻和清洗以及化学品输送应用设计，具备更高的温度承受能力并满足超高纯、无泄漏及高标准的化
学品传输要求。
阀门无外露的金属部件，可有效抵御恶劣的化学环境，确保长期稳定运行。

产品应用领域:
半导体行业：湿法蚀刻、清洗、CMP、光刻等工艺中高纯化学品的输送与精确控制
光伏行业：硅料、硅片及电池片等生产环节中高纯介质的稳定输送与控制
电子化学品行业：蚀刻液、清洗剂、光刻胶等电子化学品的安全输送与控制

产品特点：

• 与液体接触部分采用高纯 PFA、PTFE 材质，耐腐蚀
• 极少的金属部件，表面防腐处理，且阀门无外露的金属部件
• 膜片内嵌设计，使之受力匀称，延长寿命
• 独特的曲径设计可以保证阀门在高流速应用时的有效闭合
• 优秀的流道结构保证阀门拥有较高的流通能力和较低的流阻系数
• 内壁粗糙度小，不易附着流体
• 挡圈结构优化设计，使连接螺母预紧力均匀的压紧膜片，保证膜片受力均匀，密封可靠
• 降低气缸内壁表面粗糙度，延长阀门的使用寿命 • 手阀传动机构的优化设计，保证手阀承载能力更强，传动更加平稳
• 采用阀体套与底板夹持阀体结构形式，连接更可靠

PFA管产品样册

多联隔膜阀

多联隔膜阀是一种集成式流体控制组件，专为半导体湿法制程和高纯化学品输送而设计，采用全氟材料一体化集成结构，用于强腐蚀、高洁净、高精度工况下的多路流体分配、混合与通断控制，广泛适配晶圆清洗、刻蚀、显影等关键制程。

产品应用领域:
半导体行业：湿法蚀刻、清洗、显影、剥离、光刻等工艺中高纯化学品的输送与精确控制。高纯化学品输送与配比系统
电子化学品行业：蚀刻液、清洗剂、光刻胶等电子化学品的安全输送与控制

产品特点：

• 与液体接触部分采用高纯PTFE材质，与强腐蚀化学品完全兼容，无金属离子析出、无二次污染
• 内壁粗糙度小，低析出、低微粒、低吸附，满足半导体 SEMI 标准要求
• 膜片内嵌设计，使之受力匀称，延长寿命
• 多联集成设计，减少管路、接头与死区，大幅降低泄漏风险，节省安装空间，简化系统布局
• 无泄漏密封结构，采用PTFE材质隔膜，实现气泡级密封，零外漏、零内渗，保障工艺安全与制程稳定性
• 结构紧凑、集成度高，可同时实现多通道液路的分配、换向或联动控制
• 响应快、寿命长，动作稳定、开关迅速，适合 24 小时连续工况，长期使用，可靠性高

PFA管产品样册